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发明名称 TRANSFER OF SEMICONDUCTOR WAFER AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0353543(A) 申请公布日期 1991.03.07
申请号 JP19890189651 申请日期 1989.07.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAJIMA SUEKAZU;TANIGUCHI TAKAO
分类号 H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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