发明名称 IMPROVED DIAMOND DEPOSITION CELL.
摘要 Dans un premier mode de réalisation d'une cellule améliorée pour dépôt de diamant, on fait le vide dans une chambre jusqu'à obtenir une faible pression et on chauffe un élément en graphite situé dans la chambre jusqu'à une température élevée sélectionnée, ainsi qu'un substrat, placé dans la chambre avec un écartement sélectionné par rapport au corps en graphite, jusqu'à une température inférieure à la première. On introduit de l'hydrogène gazeux ou un mélange d'hydrogène et d'hydrocarbures gazeux dans la chambre, une partie de l'hydrogène entrant en réaction avec le corps en graphite chauffé de façon à former de l'hydrogène atomique et des hydrocarbures gazeux. L'hydrogène et l'hydrocarbure gazeux circulent de façon répétée dans l'écartement entre les faces opposées du corps et du substrat en régime cinétique, produisant un transfert net de carbone au substrat et son dépôt sous forme de cristaux ou pellicule de diamant sur le substrat. Dans un deuxième mode de réalisation, on chauffe le corps en graphite par combustion de gaz dans une cavité du corps. Les produits de cette combustion, de l'hydrogène et éventuellement de l'hydrocarbure gazeux additionnel sont introduits dans l'écartement entre les surfaces du corps en graphite et du substrat. Compte tenu des températures des surfaces opposées, de la pression dans l'écartement et du rapport entre les gaz constituants, les atomes de carbone se déposent sur le substrat sous forme d'une pellicule de diamant et d'autres produits de carbone.
申请公布号 EP0414842(A1) 申请公布日期 1991.03.06
申请号 EP19900902516 申请日期 1990.01.08
申请人 CELESTECH, INC. 发明人 CANN, GORDON, L.
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/44;C30B25/02 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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