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发明名称 Superconducting thin film and a process for depositing the same
摘要
申请公布号 US4997813(A) 申请公布日期 1991.03.05
申请号 US19890367736 申请日期 1989.06.19
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HIGAKI, KENJIRO;HARADA, KEIZO;FUJIMORI, NAOJI;ITOZAKI, HIDEO;YAZU, SHUJI
分类号 C01G1/00;C01G15/00;C04B41/87;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
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