| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT UNIT FOR THE PRODUCTION OF INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0231434(B1) |
申请公布日期 |
1991.02.27 |
| 申请号 |
EP19860114347 |
申请日期 |
1986.10.16 |
| 申请人 |
SIEMENS NIXDORF INFORMATIONSSYSTEME AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BROCKMANN, WERNER |
| 分类号 |
H01L21/82;H01L27/10;H03K19/177 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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