发明名称 APPARATUS FOR APPLYING RESIST
摘要
申请公布号 JPH0344023(A) 申请公布日期 1991.02.25
申请号 JP19890179965 申请日期 1989.07.11
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 INOUE MASAHIRO
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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