THERMOPILE RADIATION DETECTOR

摘要

Un détecteur de rayonnement à thermopiles comprend des thermoéléments formés sur une puce de silicium. Celle-ci est réalisée par des procédés micromécaniques utilisés dans la fabrication des circuits intégrés. Une puce de silicium (1) en forme de plaquette, initialement relativement épaisse subit un enlèvement de matière, ce qui laisse une bordure relativement épaisse (2) et une bandelette (3) sinueuse ou spiralée relativement mince qui est articulée uniquement par son extrémité (13) à la bordure (2). Les thermocontacts dits ''froids'' sont situés sur la bordure (2) de la puce (1) dans la région de l'extrémité (13) de la bandelette (3) et les thermocontacts dits ''chauds'' sont situés sur l'autre extrémité libre (14) de la bandelette mince (3). Cette configuration permet de produire un signal thermoélectrique relativement important pour un rayonnement infrarouge donné, même pour une surface de puce relativement faible.