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发明名称 WAFER-TRAEGER FUER HALBLEITERBAUTEILERZEUGUNG.
摘要
申请公布号 DE3767362(D1) 申请公布日期 1991.02.21
申请号 DE19873767362 申请日期 1987.05.18
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MACHIDA, AKIRA FUJITSU LIMITED PATENT DEPART;ABIRU, AKIRA FUJITSU LIMITED PATENT DEPART, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 B65D85/86;B65G1/04;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/67;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/68;B65G1/00 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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