Method for obtaining polycrystallinic diamond layers.

摘要

Verfahren zur Herstellung polykristalliner Diamantschichten, bei dem Diamantkristallite bei einem Druck im Bereich von 10<-><5> bis 1 bar aus einer Wasserstoff und <= 30 % eines Kohlenstoff-haltigen Gases enthaltenden Gasphase mittels Chemical Vapour Deposition (CVD) auf einem auf eine Temperatur im Bereich von 450 bis 1200 <o>C aufgeheizten Substrat abgeschieden werden, wobei das Substrat mit einer Gasphase eines zeitlich variierenden Energieinhaltes in Kontakt gebracht wird, derart, daß das Substrat mindestens zu Beginn des Abscheideprozesses mit einer Gasphase eines zur Nukleation von Diamantkristalliten in der Gasphase geeigneten Energieinhaltes in Kontakt ist, wonach das Substrat mit einer Gasphase eines gegenüber dem Anfangszustand erhöhten Energieinhaltes in Kontakt gebracht wird und weitere Diamantkristallite in situ auf der mit in der Gasphase gebildeten Diamantkristalliten bekeimten Substratoberfläche gebildet werden.