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发明名称
摘要
申请公布号 JPH039078(B2) 申请公布日期 1991.02.07
申请号 JP19850060419 申请日期 1985.03.25
申请人 MITSUBISHI MATERIARU KK 发明人 SUGA HISAAKI;SHIMANUKI YASUSHI;KAINUMA MITSUHIRO
分类号 C30B29/06;C30B1/02;C30B33/02;H01L21/322;H01L21/324 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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