发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0324268(A) 申请公布日期 1991.02.01
申请号 JP19890160092 申请日期 1989.06.22
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI;MUROYAMA MASAKAZU
分类号 C23C16/30;C23C16/40;C23C16/511;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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