发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0319360(A) 申请公布日期 1991.01.28
申请号 JP19890153999 申请日期 1989.06.16
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKEUCHI MASAHIRO
分类号 H01L27/10 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
地址