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发明名称 Method of dry etching
摘要
申请公布号 US4986877(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 US19880223642 申请日期 1988.07.25
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TACHI, SHINICHI;TSUJIMOTO, KAZUNORI;OKUDAIRA, SADAYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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