发明名称 PRODUCTION OF THIN SUPER-SMOOTHED FILM
摘要
申请公布号 JPH036373(A) 申请公布日期 1991.01.11
申请号 JP19890141372 申请日期 1989.06.02
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HIRANO HITOSHI;KIYAMA SEIICHI;OSUMI MASATO
分类号 C30B23/08;C23C14/46;C30B29/04 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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