发明名称 |
PRODUCTION OF THIN SUPER-SMOOTHED FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH036373(A) |
申请公布日期 |
1991.01.11 |
申请号 |
JP19890141372 |
申请日期 |
1989.06.02 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HIRANO HITOSHI;KIYAMA SEIICHI;OSUMI MASATO |
分类号 |
C30B23/08;C23C14/46;C30B29/04 |
主分类号 |
C30B23/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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