发明名称 PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH034431(A) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 JP19890137946 申请日期 1989.05.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKEGAWA ICHIRO
分类号 B23K15/02;H01J37/22;H01J37/305 主分类号 B23K15/02
代理机构 代理人
主权项
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