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经营范围
发明名称
FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号
JPH033242(A)
申请公布日期
1991.01.09
申请号
JP19890137234
申请日期
1989.05.30
申请人
SONY CORP
发明人
SUGANO YUKIYASU
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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