发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02312278(A) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 JP19890133957 申请日期 1989.05.26
申请人 SHARP CORP 发明人 WADA SAKAE
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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