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发明名称
STRUCTURE OF TARGET USED IN FORMATION OF MULTICOMPONENT THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH02310366(A)
申请公布日期
1990.12.26
申请号
JP19890132115
申请日期
1989.05.25
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP
发明人
HIJIKATA KENICHI;TAKAISHI KAZUNARI;MARUYAMA HITOSHI
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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