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发明名称
摘要
申请公布号
JPH02146458(U)
申请公布日期
1990.12.12
申请号
JP19890056629U
申请日期
1989.05.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/74;H01L23/522;H01L23/556;H01L23/60;H01L23/62;H01L27/06;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/91;H01L29/91
主分类号
H01L21/74
代理机构
代理人
主权项
地址
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