发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATION TYPE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02298047(A) 申请公布日期 1990.12.10
申请号 JP19890119507 申请日期 1989.05.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FURUKAWA KAZUYOSHI;NAKAGAWA AKIO;OGURA TSUNEO
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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