发明名称 REACTION CHAMBER WITH CONTROLLED RADIANT ENERGY HEATING AND DISTRIBUTED REACTANT FLOW
摘要 Une chambre de réaction (12) permettant une réaction régulée sur une surface de réaction située sur un échantillon (17) prévoit la répartition régulée d'énergie radiante sur la surface de réaction, afin d'équilibrer la perte de chaleur radiante de l'échantillon, et établit une répartition uniforme du débit du réactif sur ledit échantillon. Une boîte à lumière (11) fournit l'énergie radiante par l'intermédiaire d'une fenêtre et sur ledit échantillon (17), lequel absorbe au moins une composante de l'énergie radiante. L'élément de support (15) de l'échantillon, supportant ce dernier à l'intérieur de la chambre de réaction, se compose d'une matière sensiblement transparente à l'énergie radiante, de sorte qu'il ne se comporte pas comme un suscepteur. L'énergie radiante directe provenant des lampes (L) et l'énergie radiante réfléchie par une surface de réflexion (101 à 107) se combinent pour former une répartition régulée d'énergie radiante au niveau de la surface de réaction, ce qui équilibre la répartition de la perte de chaleur sur l'échantillon, et réduit au minimum les gradients de température sur ladite surface de réaction. Une source de gaz réactif est couplée, par l'intermédiaire d'un orifice (45) de gaz et une plaque de répartition perforée (49), à ladite chambre de réaction, entre la fenêtre et la surface de réaction. On a prévu un orifice d'échappement (55) dans ladite chambre de réaction, afin de pomper le gaz hors de la chambre de réaction pour maintenir le débit réparti de réactif.
申请公布号 WO9014158(A1) 申请公布日期 1990.11.29
申请号 WO1990US02870 申请日期 1990.05.14
申请人 RAPRO TECHNOLOGY, INC. 发明人 WONG, FRED;KU, YEN-HUI
分类号 B01J19/00;B01J19/12;C23C16/48;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/205 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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