发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02290044(A) 申请公布日期 1990.11.29
申请号 JP19900034339 申请日期 1990.02.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OZAKI HIDETO;MAYUMI SHUICHI;UEDA SEIJI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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