发明名称 POSITIONING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH02285202(A) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 JP19890104521 申请日期 1989.04.26
申请人 CANON INC 发明人 NOSE HIROYASU;KAWASE TOSHIMITSU;MIYAZAKI TOSHIHIKO;OGUCHI TAKAHIRO;YAMANO AKIHIKO
分类号 G01B7/00;G03F7/20;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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