| 发明名称 |
APPARATUS AND METHODS FOR RESISTIVITY TESTING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0196158(B1) |
申请公布日期 |
1990.11.07 |
| 申请号 |
EP19860301044 |
申请日期 |
1986.02.14 |
| 申请人 |
PROMETRIX CORPORATION |
发明人 |
PERLOFF, DAVID STEVEN;MALLORY, CHESTER LAWRENCE |
| 分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;G01R27/02;G01R27/14;G01R31/26 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
