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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02267272(A) 申请公布日期 1990.11.01
申请号 JP19890088542 申请日期 1989.04.06
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TOMIKAWA TADASHI;FUJITA NOBUHIKO;NAKAGAMA SHOJI;KIMOTO TSUNENOBU
分类号 C23C16/24;C23C16/34;C23C16/42;C23C16/50;H01L21/205 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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