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发明名称
PROBE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02264868(A)
申请公布日期
1990.10.29
申请号
JP19890085383
申请日期
1989.04.04
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
IINO SHINJI
分类号
G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067
主分类号
G01R1/067
代理机构
代理人
主权项
地址
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