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经营范围
发明名称
LATERAL TYPE DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号
JPH02263434(A)
申请公布日期
1990.10.26
申请号
JP19890085237
申请日期
1989.04.03
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
OBA TOSHIYA
分类号
H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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