发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING LARGE VOLUME MAGNETOPLASMAS
摘要
申请公布号 EP0221164(B1) 申请公布日期 1990.10.24
申请号 EP19860903123 申请日期 1986.05.02
申请人 THE AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY 发明人 BOSWELL, RODERICK, WILLIAM
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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