发明名称 |
FESTKOERPERMATRIX-DETEKTOR FUER EIN SPEKTROMETER |
摘要 |
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申请公布号 |
DD283691(A5) |
申请公布日期 |
1990.10.17 |
申请号 |
DD19880321968 |
申请日期 |
1988.11.18 |
申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION,US |
发明人 |
BARNARD,THOMAS W.,US |
分类号 |
G01J3/02;G01J3/28;G01J3/36;H01L21/66;H01L27/146;H01L27/148;(IPC1-7):H01J49/00 |
主分类号 |
G01J3/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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