发明名称 FESTKOERPERMATRIX-DETEKTOR FUER EIN SPEKTROMETER
摘要
申请公布号 DD283691(A5) 申请公布日期 1990.10.17
申请号 DD19880321968 申请日期 1988.11.18
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION,US 发明人 BARNARD,THOMAS W.,US
分类号 G01J3/02;G01J3/28;G01J3/36;H01L21/66;H01L27/146;H01L27/148;(IPC1-7):H01J49/00 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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