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发明名称 MAMUFACTURE EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02254717(A) 申请公布日期 1990.10.15
申请号 JP19890077654 申请日期 1989.03.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AIHARA KAZUHIRO;NAKAJIMA YUICHI;SHIMA YUKIO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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