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经营范围
发明名称
LSI CHIP
摘要
申请公布号
JPH02253608(A)
申请公布日期
1990.10.12
申请号
JP19890073751
申请日期
1989.03.28
申请人
NEC CORP
发明人
UEJIMA SHINJI
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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