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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02251169(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890072564 申请日期 1989.03.24
申请人 NEC CORP 发明人 SHIBATA TORU
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H03M1/02 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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