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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02246246(A) 申请公布日期 1990.10.02
申请号 JP19890067861 申请日期 1989.03.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUKI HIROHISA;HARADA SHIGEKI
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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