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发明名称
SYSTEM AND METHOD FOR MULTIPLE CHAMBER DEPOSITION AND ISOLATION
摘要
申请公布号
KR1019900007042(B1)
申请公布日期
1990.09.27
申请号
KR1019820004339
申请日期
1982.09.27
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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