| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR REGISTRATION IN SUBSTRATE EXPOSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02242259(A) |
申请公布日期 |
1990.09.26 |
| 申请号 |
JP19890062788 |
申请日期 |
1989.03.15 |
| 申请人 |
TOPPAN PRINTING CO LTD |
发明人 |
SUDA HIRONOBU;IKEMURA YASUHIRO;MURAKAMI MORIYOSHI |
| 分类号 |
G03F9/00;B23P19/00;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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