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发明名称 METHOD FOR FORMING UNIFORMLY LARGE-DIAMETER POLYCRYSTALLINE RODS BY THE PYROLYSIS OF SILANE AND A REACTOR SYSTEM THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0324504(A3) 申请公布日期 1990.09.26
申请号 EP19890100590 申请日期 1989.01.13
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人 HAGAN, DAVID W.;BURKE, WILLIAM D.;THOMAN, THOMAS R.;WILLMERT, MCREA B.
分类号 C01B33/035;C23C16/24;C30B28/14;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
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