发明名称 GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02240917(A) 申请公布日期 1990.09.25
申请号 JP19890060802 申请日期 1989.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE RIICHI;MOTOYAMA TAKUYUKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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