发明名称 IMPURITY DOPING
摘要
申请公布号 JPH02232922(A) 申请公布日期 1990.09.14
申请号 JP19890053417 申请日期 1989.03.06
申请人 NEC CORP 发明人 IWATA NAOTAKA
分类号 H01L29/205;H01L21/205 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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