发明名称 MICROSCOPE ELECTRONIQUE POUR L'EXAMEN DE SURFACES DE CORPS SOLIDES
摘要 <P>Ce microscope comportant un trajet coudé 12 du faisceau primaire incluant source d'électrons 10, un champ magnétique déviateur 20 et une lentille électronique 26, et un dispositif 22 servant à maintenir la surface d'un échantillon 28 sensiblement dans le plan objet de la lentille 26; un trajet 30 du faisceau secondaire incluant la lentille 26, le champ 20, un dispositif électro-optique 42 de formation d'images, et un dispositif 44 de détection des électrons, comporte un champ électrostatique déviateur 18 sélectif du point de vue de l'énergie, placé dans le trajet du faisceau primaire, en amont du champ 20 et déviant le faisceau primaire dans une direction opposée à la direction de déviation du champ 20.</P><P>Application notamment à l'examen de surfaces de corps solides.</P>
申请公布号 FR2644291(A1) 申请公布日期 1990.09.14
申请号 FR19900001551 申请日期 1990.02.09
申请人 MAX PLANCK GESELLSCHAFT 发明人 LIEBL HELMUT;SENFTINGER BERTOLD
分类号 H01J37/147;H01J37/153;H01J37/28;H01J37/29 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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