摘要 |
<P>Ce microscope comportant un trajet coudé 12 du faisceau primaire incluant source d'électrons 10, un champ magnétique déviateur 20 et une lentille électronique 26, et un dispositif 22 servant à maintenir la surface d'un échantillon 28 sensiblement dans le plan objet de la lentille 26; un trajet 30 du faisceau secondaire incluant la lentille 26, le champ 20, un dispositif électro-optique 42 de formation d'images, et un dispositif 44 de détection des électrons, comporte un champ électrostatique déviateur 18 sélectif du point de vue de l'énergie, placé dans le trajet du faisceau primaire, en amont du champ 20 et déviant le faisceau primaire dans une direction opposée à la direction de déviation du champ 20.</P><P>Application notamment à l'examen de surfaces de corps solides.</P>
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