发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS FOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02230724(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890051590 申请日期 1989.03.02
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MIURA YASUNORI;TAKEMOTO KIKUROU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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