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经营范围
发明名称
INSPECTION DEVICE FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH02227679(A)
申请公布日期
1990.09.10
申请号
JP19890047205
申请日期
1989.02.28
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
HARA AKIHIDE
分类号
G01R31/28;H05K13/08
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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