| 摘要 |
<p>Es wird eine Vorrichtung zur interferometrischen Erfassung von Oberflächenstrukturen durch Messung der Phasendifferenz in Laser-Speckle-Paaren in den Meßpunkten auf dieser Oberfläche vorgeschlagen. Diese Vorrichtung umfaßt wenigstens zwei Laserquellen (10-12), deren Frequenz bzw. Wellenlänge moduliert wird, eine den jeweils erzeugten Laserstrahl in zwei Teilstrahlen aufteilende Teilervorrichtung (16), Mittel zur Frequenzverschiebung der beiden Teilstrahlen relativ zueinander und eine Strahlführungsvorrichtung, durch die der eine der Teilstrahlen als Referenzstrahl und der andere als zum Meßpunkt geführter und dort reflektierter Meßstrahl interferometrisch überlagert einer Fotoempfängereinrichtung (25) zuführbar sind, der eine Auswertevorrichtung (27) zur Bestimmung der Phasendifferenz nachgeschaltet ist. Die Teilervorrichtung ist eingangsseitig über eine optische Faserleitung (13-15) mit den wenigstens zwei Laserquellen (10-12) verbunden, und die beiden von der Teilervorrichtung (16) ausgehenden Teilstrahlen verlaufen ebenfalls wenigstens für eine Teilstrecke in optischen Faserleitungen (17 und 18), wobei eine dieser Faserleitungen (17) eine Verlängerung (19) gegenüber der anderen aufweist. Auf diese Weise können ein Meßstrahl und ein Referenzstrahl mit geringfügigem Frequenzunterschied auf einfache und kostengünstige Weise erzeugt werden, wobei ein kompakter Aufbau bei geringsten Justierarbeiten möglich ist.</p> |
