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发明名称 MULTILAYER DRY-FILM POSITIVE-ACTING PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP0186510(B1) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 EP19850309464 申请日期 1985.12.23
申请人 MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY 发明人 VIKESLAND, JOHN P. C/O MINNESOTA MINING AND
分类号 G03C1/00;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/039;G03F7/095;H01L21/027;H05K3/06 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
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