发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02216848(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19890038831 申请日期 1989.02.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORIHARA TOSHINORI;WAKAMIYA WATARU
分类号 H01L21/76;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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