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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02213481(A)
申请公布日期
1990.08.24
申请号
JP19890033844
申请日期
1989.02.15
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KAMACHI HIDEKI;ARAKI MAKOTO;KODAMA ATSUSHI
分类号
B01J19/08;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/30
主分类号
B01J19/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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