发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02213481(A) 申请公布日期 1990.08.24
申请号 JP19890033844 申请日期 1989.02.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAMACHI HIDEKI;ARAKI MAKOTO;KODAMA ATSUSHI
分类号 B01J19/08;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/30 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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