| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING FUNCTIONAL DEPOSITED FILM BY MICROWAVE PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02213473(A) |
申请公布日期 |
1990.08.24 |
| 申请号 |
JP19890030972 |
申请日期 |
1989.02.13 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SHIRAI SHIGERU;TAKEI TETSUYA |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511;G03G5/08;H01L21/205;H01L31/0248 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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