发明名称 SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02213710(A) 申请公布日期 1990.08.24
申请号 JP19890035499 申请日期 1989.02.15
申请人 SEMITETSUKUSU:KK 发明人 IBA KUNIO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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