低纵横比电感耦合等离子发生器

摘要

本发明涉及一种具有较低纵横比反应气体的电感耦合等离子发生器，包括：一个箱体，其包括一个气体注入口，一个真空泵，以及一个气体排出口；一个夹盘；以及一个高频电源施加在其上的天线，在所述箱体的上部或侧部提供该天线，其中该天线具有平行的天线元件，在这些天线元件中，允许高频放电并且其阻抗低以确保低电子温度，这样来布置天线以使每一个天线元件的电源端和与电源端相对的接地端关于该天线形成的虚拟圆中心对称，以形成等离子密度分布的旋转对称，以螺旋方式盘绕这些天线元件，并且把每一个天线元件的电源端布置在远离箱体的位置上，而把每一个天线元件的接地端布置在靠近箱体的位置上，从而补偿由发生在电源端的离子损失所引起的等离子密度的下降。

主权项

1、一种具有较低纵横比的电感耦合等离子发生器，包括：一个箱体，其包括一个气体注入口，通过该气体注入口供应反应气体，一个用于保持箱体内部真空的真空泵，以及一个用于在完成反应之后抽净反应气体的气体排出口；一个在所述箱体内用于安放将要被处理的目标材料的夹盘；以及一个天线，高频电源施加在其上，在所述箱体的上部或侧部提供该天线，其中该天线具有允许高频放电并且阻抗低以确保低电子温度的并联天线元件，这样来布置所述天线使得每一个所述天线元件的电源端和与所述电源端相对的接地端关于所述天线形成的虚拟圆的中心对称，以便形成等离子密度分布的旋转对称，以螺旋方式盘绕所述天线元件，并且把每一个所述天线元件的电源端布置成远离所述箱体，而把每一个所述天线元件的接地端布置成靠近所述箱体，从而补偿由发生在电源端的离子损失所引起的等离子密度的下降。