| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02208207(A) |
申请公布日期 |
1990.08.17 |
| 申请号 |
JP19890029106 |
申请日期 |
1989.02.08 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAMATA TAKESHI;HAYASHI SHIGENORI;KITAGAWA MASATOSHI;HIRAO TAKASHI;WASA KIYOTAKA |
| 分类号 |
C04B41/87;C01B13/20;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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