发明名称 PRODUCTION OF DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH02208292(A) 申请公布日期 1990.08.17
申请号 JP19890029529 申请日期 1989.02.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWARADA MOTONOBU;KURIHARA KAZUAKI
分类号 H01L23/36;C30B29/04 主分类号 H01L23/36
代理机构 代理人
主权项
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