发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES MITTELS IONENIMPLANTATION.
摘要
申请公布号 DE3672526(D1) 申请公布日期 1990.08.16
申请号 DE19863672526 申请日期 1986.04.08
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHUKURI, SHOJI, KOGANEI-SHI TOKYO, JP;TAMURA, MASAO, TOKOROZAWA-SHI SAITAMA-KEN, JP;WADA, YASUO, TOKYO, JP;FUJISAKI, YOSHIHISA, SETAGAYA-KU TOKYO, JP
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/8252;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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